所有R5/RA系列真空泵具有下列之共同特性:

1.设计精密.结构坚固.重量轻.易于安装及维护.

2.   空气冷却(气冷式).

3.  值结式驱动,可避免转动皮带及齿轮之松弛或损耗.

4.  含高效率油雾过滤器,不须将气体排出室外.

5.  进气口有逆止阀,当泵浦停止时,此逆止阀可隔离泵浦于系统,避免真空油逆流.

6.  低震动,不需用基础螺拴固定泵浦.

7.  运转声音小.

8. 具气体压载阀,可适用于蒸气之制程.

9.    即在真空度0.5mbar到40mbar之间进入泵浦入口之水蒸气,会从泵浦出气口完全排出,而不会在泵浦内发生凝结现象.

普旭RA0063F技术参数：